ジフルオロメタン / CH2F2
5N5
トリフルオロメタン / CHF3
ヘキサフルオロブタジエン / C4F6
4N
オクタフルオロシクロブタン / C4F8
5N
20% フッ素窒素 / 20%F2/N2
3N
ヘキサフルオロエタン / C2F6
二酸化硫黄 / SO2
フッ化メチル / CH3F